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光學自動對焦系統
特征 產品特征:
1、高速實時跟焦:
智能對焦系統高速離焦量采樣,能夠迅速檢測目標表面的離焦距離和離焦方向,快速調整工作距離,確保被測表面能夠實時清晰成像。在常規的10倍物鏡,離焦100um的情況下,再對焦時間小于100ms左右。

2、亞微米級追焦精度:
智能對焦系統的對焦精度達到亞微米級,對焦精度優于1/3物鏡景深。

3、廣域對焦范圍:
在常規物鏡倍率下,智能對焦系統擁有足夠大的對焦范圍,可彌補目標物上料時的高度定位偏差,適應更復雜的對焦場景。

4、場景適應性佳:
適用多種材質,能夠兼容更復雜的目標表面紋理,滿足嚴苛的檢測需求,適應不同的成像波段需求。


自動對焦工作過程:
自動對焦傳感器內部輸出的半橢圓形準值光束經分光片耦合進物鏡中后,匯聚成一個光形圖案。通過拍攝光形輪廓得出圖像,計算出離焦距離和離焦方向,工控機發送指令到運動平臺實現高速移動,讓它始終保持在焦平面上。


典型應用:

1、半導體 2、顯示面板 3、生物醫療檢測
  • 產品參數
  • 散熱模組
  • 產品圖紙
技術參數 Technical Parameter
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